Un sistema avanzato di contenimento delle impurità sia dell’acqua che dell’aria che rende Tornado la macchina ideale per applicazioni speciali:

• fotovoltaico
• linee di sputtering
• impianti di laminazione con alti requisiti di pulizia

 

Iperclean Acqua

Il circuito acqua è composto da:

• tre zone lavaggio indipendenti (con possibilità di prelavaggio), tutte con propria vasca, pompa e filtri
• una zona risciacquo alimentata da un demineralizzatore a doppio stadio equipaggiato con filtro a carboni attivi per garantire una purezza inferiore a 0,5 µS.

Iperclean Aria

L’importanza della purezza dell’aria è generalmente sottovalutata. Una scarsa qualità dell’aria di asciugatura rischia però di annullare i risultati ottenuti con il lavaggio precedente, andando a depositare sulla lastra appena pulita nuovamente delle particelle d’aria impure.

Con il sistema Iperclean, la sezione asciugatura è attrezzata con un sistema di filtri multistadio per limitare l’ingresso delle particelle di polvere che vengono soffiate sulle lastre durante la fase di asciugatura, rendendo l’aria compatibile con i requisiti per camera bianca ISO Class4.